KETI-씨엔원, 'ALD기반 전자소자 공정 기술' 개발 협력

[테크월드=선연수 기자] 한국전자기술연구원(이하 KETI)이 오늘 4일 씨엔원(CN1)과 'ALD기반 차세대 전자소자 핵심공정 기술개발을 위한 업무협약'을 체결했다.

ALD(Atomic Layer Deposition, 원자층 증착법)란 원자 하나 만큼의 두께를 가진 얇은 층을 증착시키는 공정으로, 기판의 모양·크기에 상관없이 모든 면에 균일한 박막을 형성할 수 있어 차세대 반도체·디스플레이 핵심기술로 꼽힌다.

씨엔원은 ALD 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비업체로, 2008년 설립 이후 2018년 수출유망중소기업으로 지정됐다. 2019년에는 백만불 수출의 탑을 수상했으며 올해는 글로벌 강소기업에 선정된 이노비즈 인증을 획득한 벤처기업이다.

이번 협약을 통해 두 기관은 ▲ALD 기반 차세대 전자소자 핵심 공정기술 분야 공동 사업 발굴·기획 ▲ALD 산·연 공동 연구실 개소 ▲ALD 관련 신기술(설계, 분석, 진단, 시뮬레이션 등) 공동 연구와 인력 교류에 힘쓸 계획이다.

KETI 김영삼 원장은 "KETI가 보유한 ALD 관련 핵심기술과 씨엔원의 ALD 장비 양산화 경험이 더해진다면 차세대 반도체·디스플레이 소재·부품뿐 아니라 다양한 고부가가치 소재·응용 분야에서도 세계가 주목할 만한 산연 협력 성공사례를 창출할 수 있을 것"이라고 기대했다.