[테크월드=선연수 기자] ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics, 이하 ST)가 싱가포르 제조시설에 압전(Piezo) MEMS(Micro-Electromechanical Systems) 기술에 주력하는 8인치(200mm) R&D 라인을 설치·운영한다.
이는 LiF(Lab-in-Fab) R&D 라인으로 A*STAR(싱가포르 과학기술청) 산하 마이크로일렉트로닉스 연구소(IME, Institute of Microelectronics), 일본 알박(ULVAC)과 공동 진행한다.
LiF는 ST의 싱가포르 앙모키오(Ang Mo Kio) 캠퍼스 내 새로운 클린룸 구역으로 구성되며 MEMS R&D, 공정 과학자, 엔지니어를 비롯해 세 조직의 툴과 전용 인력을 유치할 예정이다.
IME는 압전 MEMS 디바이스 설계, 공정 통합, 시스템 통합에 대한 전문지식과 산업적 추진력을 기반으로 라인 개발을 함께한다. 최첨단 툴도 제공해 제품의 생산과정까지 한 장소에서 원활하게 모든 플로우를 유지하도록 돕는다.
이번 협력은 압전 소재, 압전 MEMS 기술, 웨이퍼-팹 툴에 대한 첨단 기술 역량을 결합해 혁신을 촉진하고, 신소재·공정기술과 함께 궁극적으로 산업 고객용 제품 개발을 가속화하는 것을 목적으로 한다. 이를 통해 ST 싱가포르의 제조 공정 포트폴리오를 강화하고, 새로운 유망 애플리케이션 분야에서의 압전 MEMS 액추에이터 채택을 가속화할 것으로 기대된다.
해당 기술은 스마트 안경을 위한 MEMS 미러와 AR 헤드셋, 라이다(LiDAR) 시스템, 새로운 의료 애플리케이션용 PMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer), 상업용·산업용 3D 프린팅을 지원하는 압전 헤드(Piezo Head) 등에 활용될 수 있다.
LiF 시설은 2021년 2분기에 첫 번째 웨이퍼를 생산하고 2022년에 대량생산이 가능하도록 준비·운영될 계획이다.
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