[테크월드뉴스=노태민 기자] 미국 메모리 반도체 기업 마이크론이 올해 말 대만 타이중 팹에 EUV 반도체 장비를 도입, 차세대 D램 양산 준비에 돌입한다.
26일 디지타임즈에 따르면 산제이 메로트라 마이크론 CEO는 대만에서 열린 컴퓨텍스 2022에서 마이크론의 EUV 도입 계획을 발표했다. 산제이 메로트라 CEO는 올해 말 대만 타이중 팹에 EUV 장비를 도입해 1감마 나노급(12나노미터 이하) D램 라인 초기 구축을 시작할 계획이라고 밝혔다.
마이크론은 1베타 나노급(13나노미터 이하) D램 양산을 위한 준비도 동시에 진행한다. 마이크론은 1베타 나노급 D램까지는 불화아르곤 장비를 사용한다.
마이크론의 EUV 장비 도입이 늦어진건 양산 및 램프업(장비 설치 후 양산까지 생산능력 증가를 의미) 기간이 오래 걸릴 것이라는 이유에서다.
삼성전자와 SK하이닉스는 이미 EUV 장비를 도입하여 D램 양산에 적용하고 있다. 삼성전자는 2020년에 EUV 장비를 도입하고 2021년부터는 EUV 기반 1알파 나노급 D램을 양산하고 있다. SK하이닉스도 2021년부터 1알파 나노급 D램 양산을 시작했다.
EUV 기술은 극자외선 광원을 통해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술이다. 기존 공정 대비 10배 이상의 세밀한 공정이 가능하며, 생산성 개선도 20%가량 가능하다.
시장조사기관 IC인사이츠에 따르면 삼성전자·SK하이닉스·마이크론이 2021년 글로벌 D램 시장 점유율 중 94% 차지한 것으로 조사됐다. 2021년 글로벌 D램 시장 규모는 961억 달러(약 120조 7592억 원) 규모로 전년대비 42% 증가했다.
글로벌 D램 시장에서 삼성전자와 SK하이닉스는 각각 43.6%, 27.7% 점유율울 차지했고 마이크론은 22.8%를 차지했다.
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