ASML, 2025년부터 High-NA EUV 장비 공급

2030년까지 매출액 연평균 11%씩 증가할 전망

[테크월드뉴스=서유덕 기자] 노광(Photo-Lithography) 장비를 공급하는 네덜란드의 ASML이 현지시간 9월 29일 투자자 대상 행사인 ‘인베스터 데이 2021(Invester Day 2021)’ 행사를 열고 경영 전략을 공개했다. 피터 베닝크(Peter Wennink) CEO 등 8명의 연사가 발표에 나선 이번 행사에서는 유일한 EUV 장비 공급사인 ASML의 통찰력을 바탕으로 한 반도체 중심의 전 세계 제조업 전망과 ASML 경영 목표가 제시됐다.

High-NA EUV 장비 2025년부터 공급

ASML의 EUV 장비를 도입했거나 도입 예정인 반도체 제조사는 TSMC, 삼성전자, 인텔, SK하이닉스, 마이크론의 5곳이다. TSMC와 삼성전자는 ASML의 EUV 장비 대부분을 확보해 왔으며, 2018년부터 2020년까지 3년간 각각 40여, 20여 대를 도입한 것으로 알려져 있다. SK하이닉스는 올해 2월 4.7조 원 규모의 EUV 장비 도입 계약을 공시했고, 7월 EUV 기반 4세대(1a㎚) D램 양산을 개시했다. 인텔은 지난 9월 27일 EUV 장비가 도입될 애리조나 신규 팹을 착공했다. 마이크론 또한 2024년부터 EUV 기반 메모리 반도체를 생산할 방침이다.

ASML은 차세대 극자외선(High-NA EUV) 노광 장비인 ‘0.55 NA(렌즈수차) 플랫폼’을 2025년부터 반도체 제조사들에게 공급할 계획이다. 마스크(회로도)를 통과한 빛으로 웨이퍼에 회로를 그리는 노광 공정은 광원의 파장을 줄이거나 빛을 전달하는 광학계를 개선해 선폭을 미세화하는 것이 핵심이다. ASML의 장비는 수 개의 거울(반사판)을 이용해 10여 차례 EUV를 반사하는 방식으로 광학계를 구성하며, 0.55 NA는 기존 EUV 장비보다 1.7배 더 작고, 2.9배 더 밀집된 회로를 그릴 수 있다. 이를 통해 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)를 최대 40% 개선할 수 있으며, 이는 수율 향상으로 연결된다.

이날 행사에서 EUV 장비 관련 발표를 맡은 크리스토프 후쿠아(Christophe Fouquet) ASML EUV 부문 부사장은 “독일 광학회사 자이스(Zeiss)와 협력해 개발한 직경 1m의 0.55 NA 거울은 20pm(피코미터, 10^-12m) 폭의 회로를 그릴 수 있다”며 “이는 거울을 지구 크기만큼 키울 경우 사람의 머리카락 굵기 정도일 만큼 미세한 선폭”이라고 설명했다.

지난 7월 미세 공정 로드맵을 발표한 인텔은 2025년 이후 인텔20A(2㎚ 급) 공정을 적용하기 위해 ASML High-NA EUV 장비를 도입할 것이라고 공언한 바 있다. 앞으로 D램과 로직 반도체 부문에서 차세대 EUV 기술이 확산될 것으로 예상된다. 크리스토프 후쿠아 부사장은 “EUV 장비의 가치는 향후 10년 이상 이어질 것”이라고 언급했다.

크리스토프 후쿠아 EUV 부문 부사장이 DUV, EUV, 차세대 EUV 장비의 레이저 발생 장치(Source), 마스크 스캐너(Scanner), 광학계(거울, Optics)별 차이점을 설명하고 있다

2025년 매출액 최대 300억 유로 전망

ASML은 향후 IT 메가트렌드의 영향으로 EUV 장비가 쓰이는 초미세 공정은 물론 DUV(심자외선) 장비의 응용처인 성숙 노드(Mature node, 40㎚ 이상 공정)의 수요 또한 증가할 것으로 예상했다. 피터 베닝크 ASML CEO는 “기업 간 경쟁 외에도, 기술 주권 확보를 추진하는 주요국 간 경쟁과 예산 증액의 영향으로 반도체 시장에 유입되는 자본이 대폭 늘 것으로 기대된다”고 언급했다. 로저 대센(Roger Dassen) 최고재무책임자(CFO) 겸 부사장은 “2025년 이후로 상당한 성장 기회가 있을 것”이라며 “2030년 전 세계 반도체 시장 규모는 1조 달러에 육박할 것”이라고 밝혔다.

이에 따라, ASML은 2025년 자사 매출액을 최소 240억 유로에서 최대 300억 유로로 전망했다. 이는 지난 2018년 투자자 행사에서 제시한 150억~240억 유로보다 대폭 높게 잡은 것으로, 2020년 ASML 매출액 140억 유로의 2배에 이르는 액수다. 고객사에 공급한 제품의 유지·보수와 업그레이드(Installed base Management)로 60억~70억 유로를, 장비 판매로 180억~230억 유로를 벌어들일 것으로 예상된다. 매출 총 이익률도 최소 54%에서 최대 56%로 기대돼 2020년(48.6%)을 상회할 것으로 보인다. 로저 대센 CFO는 “우리의 연 매출 규모는 2020년부터 2030년까지 매년 11%씩 증가할 것”이라고 전망하면서 “배당금 증가와 자사주 매입을 통한 주주 환원에 힘쓸 것”이라고 말했다.