[테크월드=선연수 기자] 자이스(ZEISS)가 엑스레디아 버사(Xradia Versa), 엑스레디아 콘텍스트 3D 엑스레이 마이크로CT(Xradia Context 3D X-ray microCT)를 위한 '어드밴스드 재구성 툴박스(Advanced Reconstruction Toolbox)'를 출시했다.
어드밴스드 재구성 툴박스는 신형 어드밴스드 재구성 엔진인 'OptiRecon'과 'DeepRecon'을 제공한다. 먼저, OptiRecon 모듈은 반복계산 재구성이라고 알려진 프로세스를 활용해 수렴될 때까지 여러 차례의 반복을 통해 실제 프로젝션과 모델링된 프로젝션 사이의 차이를 계산한다. FDK에 비해 훨씬 더 적은 프로젝션 횟수와 획득 시간을 사용해 최적의 스캔 전략을 지원한다. 반도체 패키지에서는 종전과 비슷하거나 더 나은 화질로 최대 2배 더 빠른 스캔 속도를 달성할 수 있다.
DeepRecon 모듈은 맞춤형으로 훈련된 신경망을 활용해, 서로 같거나 비슷한 샘플에 대해 반복적인 분석이 필요한 FA·구조 분석 애플리케이션의 처리속도와 성공률을 높인다. 지정된 샘플 집단에 대해 FDK 대비 같거나 더 나은 화질을 제공하면서 최대 4배 더 빠르게 스캔할 수 있어, 동일한 스캔 시간 적용 시 노이즈는 더 적고 화질은 더 우수하다.
이번에 출시된 어드밴스드 재구성 툴박스를 활용해 불량 분석(FA, Failure Analysis)을 위한3D XRM의 필수 단계인 3D 이미지 재구성(Reconstruction)의 처리속도(Throughput)와 이미지 화질을 높일 수 있다. 이를 통해 분석 결과를 더 빨리 도출하고 FA 성공률을 높임으로써 반도체 고급 패키징을 위한 새로운 애플리케이션과 워크플로우를 구현할 수 있다.
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