인테그리스, 새로운 중점도 액체분사 솔루션 ‘인텔리젠 MV’ 출시

인테그리스(Entegris)가 반도체 및 전자 산업용 중점도 액체분사 시스템 제품군인 인텔리젠 MV(IntelliGen MV) 신제품을 4일 새롭게 출시한다고 밝혔다.

인텔리젠 MV는 현재 성능이 입증된 인텔리젠 미니(IntelliGen Mini)와 인텔리젠 HV( IntelliGen HV) 분사 시스템에 3D 반도체 및 MEMS 응용 분야에 최적화된 솔루션을 결합해 중점도 액체 분사 분야에서 고순도 여과 기술과 재현성을 보장하는 솔루션이다.

소형 설계 덕분에 트랙 하나에 여러 대를 설치할 수 있는 인텔리젠 MV 분사 시스템은 100~300cP에 이르는 다양한 포토 케미컬을 동시 처리해 필터의 여과 성능을 극대화하고 장비의 내부 공간을 효율적으로 사용할 수 있다.

토드 애덜런드(Todd Edlund) 인테그리스 최고 운영 책임자는 “3D 반도체와 MEMS 기술이 발전함에 따라 복잡해진 공정에 맞는 고속 처리량과 고순도 여과 기능을 요구하는 제조업체가 늘어나는 추세”라며 “응용 분야마다 집약적인 실시간 관리 기능과 대화형 진단 및 피드백 기능이 필요하다”고 강조했다.

이어 그는 “인텔리젠 MV 솔루션은 다양한 진단·감지 기능을 통해 불량률을 줄이고 레시피 프로그래밍을 단순화하며 액체 여과 필터의 프라이밍(priming) 속도 개선을 돕는다"고 말했다.

한편 인테그리스는 2월 4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2015’ 전시회에 참가해 인텔리전 MV 시스템과 그 외 다양한 솔루션을 선보일 예정이다.