EVG, 디스플레이 투명 나노 구조화 반사방지 코팅 발표

웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 제조 업체인 EV 그룹(EVG)은 나노종합기술원(NNFC)과 나노 이니쉐이티브 (NI: Nano Initiative)와 공동으로 디스플레이를 위한 개선된 투명 나노 구조화 반사-방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 생산하기 위한 공동개발프로그램 (JDP)의 제시 방향을 발표했다.

공동개발프로그램을 진행해온 3사 협력사들은 대부분의 고분자 코팅(polymeric coatings) 보다 우수한 97 퍼센트 이상의 투과율과 표면경도 3H를 제공하는 뛰어난 구조 복제의 반사방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 성공적으로 입증했다.

이와 대조적으로 현재 박막광학 코팅(thin-film coatings) 기술은 92 퍼센트의 투과율만 제공한다. 3사 협력사들은 디스플레이 코팅의 상용기술 기준에 최적화 된 NI의 고분자 소재 재료를 이용한 200mm 글래스 웨이퍼에 임프린트(imprint)를 위한 EVG사의 독자 기술 인 SmartNIL UV-NIL(nanoimprint lithography) 기술을 적용해 이번 성과를 달성했다.

2015년 11월에 착수된 공동개발프로그램은 초기 생산 규모를 쉽게 확장할 수 있는 나노 구조용 제조 공정을 추가했고 고분자 재료를 기본으로 대면적 디스플레이를 위한 새로운 나노 구조화 반사-방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 개발하기 위해 2년간 운영할 목적으로 처음 출범했다.

이 프로그램의 다음 단계로, EVG, NNFC, NI는 EUREKA 프로젝트에 착수할 계획이다. JDP연구 기관인NNFC는 Gen 2 (370 mm x 470 mm) 패널들처럼 대면적의 대량 패널 제조 실현이 가능 할 수 있도록 산업 파트너들에게 새로운 반사-방지 코팅 기술을 전수할 계획이다.

이번 특정 프로젝트뿐 만 아니라 3사의JDP 협력사들은 나노 구조와 NIL 기술이 필요로 하는 다른 응용 분야를 조사할 계획이다.

박재홍 NNFC 나노 구조 및 재료 개발팀, 수석 연구원 박사는 “세계적 수준의 나노 기술 연구 및 비즈니스 개발 센터로서, NNFC가 유망 신기술의 상업화를 실현하기 위해 산업 제조 선도 기업들과 협업하는데 있어 매우 중요하다”며 “우리는 EVG와 몇 가지 첨단 나노 기술의 개발 지원 프로젝트를 진행해 왔으며 첨단 디스플레이 코팅 기술 공동 개발 프로그램에 적합한 파트너라고 생각한다”고 말했다.

EVG, NNFC와 NI는 공동개발프로그램에 대한 결과를 7월13일부터 15일까지 경기도 고양시 한국국제전시장 (KINTEX)에서 개최되는 NANO KOREA 심포지엄 및 전시회에서 선보일 예정이다.