- 최첨단 펄스 측정 기능으로 더욱 향상된 디바이스 특성 분석 성능 제공키슬리 인스트루먼츠 코리아(대표 양웅모)가 모델 4200-SCS 반도체 특성 분석 시스템을 위한 펄스 소스 및 측정 기능을 새롭게 발표했다.컴팩트한 구성으로 완벽하게 조합된 신제품 PIV(Pulse-I-V) 패키지는 측정 성능이 뛰어나며, 강유전체 물질, 열적으로 민감한 디바이스, 첨단 메모리 칩의 제품 출시 기간을 대폭 단축시켜 준다. 이 제품은 사용하기 편리한 통합 패키지로 구성되어 정밀도 및 반복성이 뛰어난 펄스 및 DC 측정 기능을 단일 장비 형태로 제공하는 업계 최초의 상용화 제품이다. PIV 패키지는 키슬리 모델 4200-SCS 시스템의 옵션 품목이다. 모델 4200-SCS는 높은 정밀도를 가진 써브 펨토암페어 분해능(sub-femtoamp resolution)과 더불어 DC 디바이스 특성 분석, 실시간 측정 곡선 그리기와 분석작업을 분석실 수준으로 수행할 수 있다. 이 제품은 윈도우 XP 운영 체제, 대용량 저장 장치, 임베디드 PC가 완벽하게 조합된 특성 분석 시스템으로써 최첨단 기능을 제공한다.- 펄스의 필요성반도체 기술이 65nm와 그 이하의 게이트 폭으로 지속적으로 발전함에 따라 강유전체의 전하 트래핑과 SOI(Silicon On Insulator) 디바이스의 자체 발열과 같은 문제점이 새롭게 대두되어 신소재와 디바이스의 효과적인 특성 분석을 위해 기존의 DC 소스-측정과 다른 새로운 측정 기법이 요구되고 있다. 이러한 최첨단 제품의 개발자들이 펄스 테스팅의 필요성을 인식하고는 있었지만, 정밀하고 반복적인 펄스 측정을 위한 상용화 솔루션이 존재하지 않았다. 펄스 기능을 보유한 모델 4200-SCS PIV 패키지는 펄스 발생기, 펄스 측정, 특허 출원중인 소프트웨어를 완벽하게 결합해 이러한 문제를 해결하였고, 피측정물(DUT)과의 배선을 단순화시킨 것이 특징이다. 사용자들은 더 이상 여러 장비와 복잡한 연결 배선들은 물론 자체적으로 개발한 소프트웨어 및 불확실한 측정 결과와 같은 문제들로 고민하지 않아도 된다. 이번에 새롭게 선보이는 펄스 기능은 4200-SCS 플랫폼에 결합되어, 키슬리의 KTEI 반도체 테스트 소프트웨어를 이용해 단일 측정 솔루션으로 정밀 DC 및 펄스 측정을 할 수 있다.- 모델 4200-SCS를 위한 새로운 펄스 I-V 기능PIV 패키지는 주파수 범위가 1Hz에서 50MHz인 두 개의 독립적인 채널을 가진 듀얼 채널 펄스 발생기 카드가 장착되어 있다. 이 펄스 발생기는 10나노초 이하의 펄스를 발생시킬 수 있어 SOI 디바이스, 65nm 이하 크기의 디바이스와 공정에서의 발열 없는 펄스 측정이 가능하다. 저속 정밀 펄스 에지 제어를 통해 전하 트래핑, AC 스트레스 테스팅, 메모리 테스팅 분야에서 정확한 소싱 및 측정을 할 수 있다. 사용자는 펄스 폭, 주기, 상승시간, 하강시간, 크기, 오프셋등과 같은 파라미터들을 제어할 수 있다. 탁월한 DC 특성 분석기능과 펄스 기능이 결합된 모델 4200-SCS는 이 분야에서 유일한 제품이다.- 강력한 소프트웨어 솔루션PIV 패키지에 번들로 제공되는 소프트웨어는 혁신적인 제품으로써 현재 특허 출원 중이며, 더욱 정확하고 반복성이 뛰어난 측정을 할 수 있도록 한다. 소프트웨어와 전면 패널 사용자 인터페이스의 통합으로 사용이 더욱 편리해져 비숙련자라도 빠른 시간 내에 장비를 설정하고 우수한 펄스를 이용한 I-V 측정을 할 수 있다. 소프트웨어는 듀얼 채널 펄스 발생기의 구동, 설정, 트리거를 설정하고, 펄스 측정과 데이터 수집 및 표시 작업을 수행한다. 이 소프트웨어는 측정의 무결성을 위한 최적의 케이블 보상 알고리즘뿐만 아니라 펄스 임계치 전압 추출을 위한 최적의 부하선 보정 기술을 가지고 있다.PIV 패키지는 개발시간과 비용을 줄이기 위해 펄스 IV와 전하 트래핑 테스트를 수행할 수 있는 샘플 프로젝트와 소스 코드를 포함하고 있다. 또한 전체 PIV 패키지를 통해 펄스와 측정에 관한 사용자의 학습기간이 단축되는 것은 물론, 단일 워크스테이션에서 다양한 종류의 테스팅을 할 수 있다.- 어플리케이션모델 4200-SCS PIV 패키지는 다양한 범위에 사용될 수 있다. 특히, 강유전체 집적 시 발생되는 전하 트래핑을 비롯해 SOI 및 FinFET 디바이스처럼 65nm 이하의 기술 노드가 적용되는 최첨단 디바이스에서의 발열 문제를 해결하는데 최적의 솔루션을 제공한다. 이 밖에도 전하 펌핑, 새로운 신뢰성 불량 메커니즘 테스트를 위한 AC스트레스를 포함한 기타 어플리케이션과 다양한 펄스와 클럭 어플리케이션에 적용될 수 있다.모델 4200-SCS PIV 패키지는 반도체의 TD(Technology Development), PD(Product Development), 신뢰성 분석실 뿐만 아니라 재료 개발 및 디바이스 연구실의 엔지니어와 매니저들에게 이상적인 제품이다.번들로 제공되는 샘플 테스트 항목과 사용하기 쉬운 소프트웨어를 통해 사용자 학습시간을 단축하고 생산성을 높일 수 있다. 이로써 사용자는 테스팅과 특성분석 작업을 더욱 신속히 처리할 수 있어 상대적으로 생산성이 향상된다. 4200-SCS PIV 패키지는 벤치탑 DC와 펄스를 필요로 하는 반도체 연구소에 이러한 모든 이점을 제공한다.- 독립적인 펄스 기능모델 4200-SCS에 설치되어 있는 듀얼 채널 펄스 발생 카드는 범용 펄스 발생기로 사용할 수 있다. 범용펄스 발생기는 불량분석, 전하 펌핑, 플래시메모리 테스팅, 클럭 발생기와 같은 어플리케이션에 이상적이다. 펄스 발생 카드에 사용되는 소프트웨어는 사용이 편리한 GUI 형태의 전면 패널을 제공한다.- KTEI 버전 6.0에서의 개선된 편리성모델 4200-PIV 패키지 출시와 함께 키슬리 KTEI 반도체 테스트 소프트웨어 또한 사용자 편리성을 개선하고 더욱 다양하고 향상된 기능을 갖춘 6.0 버전으로 새롭게 출시된다. 키슬리의 전문성과 고객의 요구에 따른 지속적인 성능 향상을 통해 KTEI 소프트웨어는 현재와 미래의 요구사항을 지속적으로 충족시킨다. 현재 사용중인 모델 4200-SCS 사용자를 위해서는 지속적인 소프트웨어 업그레이드를 통해 최신제품으로 유지할 수 있도록 지원할 예정이다.- 제품 가격 및 공급모델 4200-SCS PIV 패키지는 Model 4200-SCS 장비와 함께 주문하거나 현재 보유하고 있는 장비에 추가 하여 기존에 구매한 장비의 사용 가치를 지속적으로 유지할 수 있다. 새로운 듀얼 채널 펄스 발생기는 전하 펌핑이나 플래시메모리와 같은 어플리케이션의 경우, PIV 패키지와는 별도로 구입할 수 있다. PIV 패키지의 가격은 약 3만5천달러 정도이며, 듀얼 채널 펄스 발생기만을 별도로 구입할 경우 약 1만2천달러 정도이다. 제품 공급은 2005년 10월부터 가능하다.- 상세 문의키슬리의 모델 4200-SCS PIV 패키지에 관한 좀 더 자세한 자료나 간단한 온라인 프리젠테이션이 필요하시다면 http://www.keithley.com/pr/015을 방문하시거나 키슬리 한국지사로 연락하여 주시기 바랍니다.
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