윤 대통령 “삼성전자, ASML과 1조원 투자해 한국에 R&D센터 건설”

[테크월드뉴스=박규찬 기자] 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 중 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK그룹 회장 등 정상들이 ASML 본사를 방문해 양해각서(MOU)를 지난 12일(현지시간) 체결했다고 밝혔다.

이번 MOU에는 연구개발센터 설립, 수소재이용 기술 연구, 인재양성 등의 내용이 담겨있다.

먼저 ASML은 삼성전자와 함께 1조 원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 ‘차세대 반도체 제조기술 R&D센터’를 한국에 설립하는 MOU를 체결했다.

장비기업인 ASML이 반도체 제조기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정을 개발하기 위한 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다. 대통령은 지난해 11월과 올 7월 ASML 피터 베닝크 회장을 두 차례 만나 한국에 대한 투자 확대를 요청한 바 있다.

SK하이닉스는 ASML과 ‘EUV용 수소가스 재활용 기술개발’ MOU를 체결했다. 이번 MOU로 SK하이닉스는 ASML과 극자외선(EUV) 장비 적용을 위한 수소 재사용 기술 연구개발에 협력한다. EUV 장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용할 경우 전력 사용량은 20% 줄어들고 연간 165억 원의 비용이 감축될 것으로 기대된다.

아울러 양국은 미래 반도체 인재를 공동 육성하기 위한 MOU도 체결했다. 한국과학기술원(KAIST), 울산과학기술원(UNIST), 중앙대학교 등 국내 기관과 삼성, SK하이닉스 등 기업이 참가한다.

네덜란드에는 아인트호벤 공과대학과 벨기에의 imec, ASML, ASM, NXP 등의 기관이 참여하게 되며 석·박사 졸업생을 포함해 약 500명의 고급 전문인력을 양성하는 것이 목표다.

윤 대통령은 “한국 정부는 양국간 직접 소통을 강화해 나가겠다”며 “협력 사업의 성공을 위해 필요한 모든 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.

마지막으로 양국 정상은 ASML의 클린룸을 함께 방문해 차세대 EUV 장비 생산 현장을 시찰했다. 대통령과 빌렘-알렉산더 국왕이 방문하는 클린룸은 지금까지 전체 모습이 공개된 적 없는 차세대 EUV 생산 현장이며 이번에 처음 공개됐다.

한편 정부는 “이번 ASML 방문에서 체결된 정부 및 민간 차원의 협력 MOU가 차질없이 이행될 수 있도록 지원을 아끼지 않을 계획”이라고 말했다.