[테크월드뉴스=노태민 기자] 5일(현지시간) 블룸버그는 미국 정부가 ASML에 중국 장비 수출 중단을 요청했다고 보도했다.
복수의 소식통에 따르면 미국정부가 극자외선(EUV) 장비뿐 아니라 심자외선(DUV) 장비 판매도 수출 중단 요청을 하며 네덜란드 정부에 로비를 하고 있다.
지난 5월 말과 6월 초 돈 그레이브스 미국 상무부 차관은 네덜란드와 벨기에를 방문하며 피터 베닝크 ASML CEO와 만나 중국 수출 문제를 언급한 것으로 알려졌다.
네덜란드 정부는 ASML의 DUV 장비 수출 제한이 중국과의 무역 관계에 손실을 줄 수 있어 현재까지는 미국의 요청에 동의하지 않은 것으로 전해졌다. 네덜란드 정부는 이미 EUV를 장비를 중국에 수출하지 않고 있다.
상황에 대해서 미국 상무부와 네덜란드 외무부는 답변을 거부했다.
ASML 대변인은 "해당 논의가 새로운 것이 아니다"라며 "아직 결정된 바가 없고 루머에 대해 답변하지 않겠다"고 밝혔다.
ASML뿐 아니라 이미 어플라이드머티어리얼즈, 램 리서치를 포함한 주요 미국 반도체 장비 제조업체는 국가 안보 문제로 고급 장비를 중국에 수출하는 것을 제한받고 있다.
DUV 장비는 EUV 장비의 구형 버전으로 통상적으로 30nm 이상 공정에 주로 사용된다. 전력반도체(PMIC), 자동차용 마이크로컨트롤러유닛(MCU) 공정 등에 주로 활용 됐다. 하지만 최근 반도체 제조사들이 DUV 장비를 이용한 더블 패터닝, 쿼드러플 패터닝 기술을 개발하면서 DUV 장비로 10nm 제품까지 생산 가능하게 됐다.
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