나노종합기술원-DCT 머티리얼, 메모리반도체 공정 핵심소재 기술 확보
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나노종합기술원-DCT 머티리얼, 메모리반도체 공정 핵심소재 기술 확보
  • 배유미 기자
  • 승인 2020.02.12 17:20
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[테크월드=배유미 기자] 반도체 공정재료 생산업체 DCT 머티리얼과 반도체 공공테스트베드 나노종합기술원과 공동연구를 통해 메모리반도체용 핵심소재 기술을 확보했다.

과학기술정보통신부(이하 ‘과기정통부’)에 따르면, 이번 연구를 통해 그간 수입에 의존해 왔던 ‘고(高)종횡비 구조의 메모리반도체용 스핀코팅 하드마스크 소재’ 기술자립에 성공했다. 종횡비란 반도체 구조 가로 세로비율을 의미한다.

이번에 개발된 소재는 기존 제품보다 평탄화 특성은 물론, 가격 경쟁력도 우수해져 그간 일본 등 외국에 의존했던 메모리반도체용 하드마스크소재의 국산 대체가 가능해질 전망이다.

그간 하드마스크 1세대 공정이 미세화 한계에 도달하면서, 2세대 공정 개발이 전 세계적으로 활발하게 진행됐지만, 국내 중소 소재기업의 반도체소재 생산장비는 노후화 등의 문제로 양산 제품 검증요건을 충족시키기 어려웠다.

이를 개선하고자 DCT 머티리얼은 나노종합기술원의 팹시설을 활용, 공동으로 기술개발을 추진해 최종 수요 대기업에 납품하기 위한 내열성, 평탄화율 등의 요구기준을 모두 충족하는 제품개발에 성공하였다.

소재 개발을 주도한 DCT 머티리얼 관계자는 “나노종합기술원과의 협력을 통해 세계최고 수준을 뛰어넘는 제품개발에 성공했다”며 “향후 중소기업 지원 테스트베드가 확충된다면, 반도체 소재의 기술자립을 더욱 앞당길 수 있을 것으로 기대된다”고 전했다.

고서곤 과기정통부 기초원천연구정책관은 “반도체 핵심 소재∙부품∙장비의 기술자립을 지원하기 위하여 나노종합기술원과 같은 나노인프라 기관을 적극적으로 활용할 계획”이라며 “지난해부터 추진 중인 12인치 반도체 테스트베드도 성공적으로 구축된다면, 국내 반도체 소재·부품·장비 산업경쟁력 제고에 크게 기여할 것”이라고 말했다.


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