인테그리스, 한국센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비 도입
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인테그리스, 한국센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비 도입
  • 김경한 기자
  • 승인 2019.09.16 12:55
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칩 디자인 복잡해지고 반도체 민감해지면서 공정의 오염물질 제어 필요성 대두

[테크월드=김경한 기자] 인테그리스는 수원 광교의 한국기술센터에 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 성공적으로 도입했다고 9월 16일 발표했다. 인테그리스 한국기술센터는 반도체 필터 테스트, 첨단 증착 소재, 표면 처리와 집적에 대한 연구 장비와 전문가를 갖추고 있는 연구 시설이다.

인테그리스 한국기술센터에 도입된 CMP 슬러리 필터 테스트 장비
한국기술센터에 도입된 CMP 슬러리 필터 테스트 장비

CMP 슬러리 필터 테스트는 반도체 공정에 오염물질을 제어하는 인테그리스 ‘클린 케미컬 딜리버리 솔루션’의 핵심 구성 요소다. 이 테스트는 첨단 노드와 핵심 반도체 공정의 높은 수율, 신뢰성과 성능 요구를 충족하는 데 중요한 역할을 한다. 칩 디자인 아키텍처가 점점 더 복잡해지고 아주 작은 오염 물질에도 반도체 민감도가 높아지면서 반도체 공정의 오염 물질 제어에 대한 수요도 증가하기 때문이다.

인테그리스는 이번 한국기술센터 확장을 통해 반도체 공정에서 사용되는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트와 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 됐다. 한국기술센터는 CMP 슬러리 테스트 스탠드와 파티클 카운터 장비를 갖춤으로써 국내 주요 벌크 슬러리 제조사와 종합 반도체 업체(IDM) 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다. 그 결과 인테그리스는 고객사 공정에 적합한 CMP 슬러리 여과 솔루션을 제공하고, 고객은 신기술에 도입할 제품 선정 시간을 단축시킬 수 있을 것으로 보인다.

인테그리스의 미세오염 제어 부문 수석부사장인 클린트 헤리스(Clint Haris)는 "최근 고객들은 4차 산업혁명으로 인한 인공지능, 자율주행, 블록체인, IoT 등 늘어나는 메모리 칩 수요를 충족시키고자 노력하고 있다”며 한국기술센터에 지속적으로 투자하고 있다고 밝혔다.


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