[테크월드=양대규 기자] 국제반도체장비재료협회인 SEM가 반도체 장비안전 국제표준인 S2의 한글 개정판을 6월 발간한다. 이번 개정판에는 삼성전자, SK하이닉스, 세메스, ASM, Salus, SGS와 같은 국내외 반도체 제조사, 장비사와 인증 업체의 전문가들이 번역에 직접 참여해, 현장에서 실제 사용하는 용어의 정교함을 더욱 높였다. 또한, 장비 플랫폼, 계단, 사다리 설계기준에 대한 내용과 번역이 추가적으로 이뤄졌다.
반도체는 제조 과정에서 화학물질을 많이 사용한다. 이에 기계에 결함이 생겨 화학물질이 누출되어 생길 수 있는 여러가지 위험 문제를 방지하기 위해 장비의 설계, 제작 단계부터 특별한 안전 관리가 필수적이다. SEMI 는 45년간 모든 유형의 반도체 장비에 필요한 전반적인 환경, 보건, 안전 요건을 정의하는 26건의 안전 가이드라인을 개발해 반도체 장비를 설계하고 평가하는 데 중요한 역할을 하고 있다. 전세계 반도체 제조 분야에서 유일하게 사용되고 있는 표준이기 때문에 반도체 뿐만 아니라 LED, 평판디스플레이 등의 산업분야에도 널리 상용되고 있다.
SEMI는 한국 사용자들이 가지고 있던 언어에 대한 불편함을 해소시키기 위해 2013년부터 지속적으로 표준의 한글화 작업을 해오고 있다. 이와 더불어 SEMI는 본 표준인 S2를 사용하는 담당자들을 위한 분야별 교육을 연 2회 진행하여 반도체 장비 안정성과 제조업체의 생산, 품질관리능력을 향상시키는 데 노력을 기울이고 있다.
S2 연계 표준의 한글화 작업도 현재 계속되고 있으며, 올 해 말에 ▲SEMI S6-0707 반도체 제조 장비의 배기에 대한 환경안전보건(EHS) 가이드라인, ▲SEMI S14-1016 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가와 완화 안전 가이드라인, ▲SEMI S10-0815 위험성 평가와 위험성 검토 절차 가이드라인이 한글로 발간될 예정이다.
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