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코마테크놀로지, ‘세미콘 2018’에서 반도체 부품 선보여반도체 전공정 장비 사파이어 핵심 부품 개발
정환용 기자 | 승인 2018.02.12 18:27

[EPNC=정환용 기자] 반도체장비 소재·부품 기업 코마테크놀로지가 1월 31일부터 2월 2일까지 서울 코엑스에서 열린 전시회 ‘세미콘 코리아(SEMICON Korea) 2018’에 참가해 포러스베큠척(다공질세라믹 진공척), CVD공정용 사파이어 사이드노즐, ETCHING공정용 사파이어 HPQ인젝터, CVD-SiC 포커스링 등 반도체 전공정 장비의 핵심 부품들을 선보였다고 밝혔다. 이번 행사에는 20여개 국가에서 총 600여개의 회사가 참여해 국내외 반도체 재료와 장비를 선보였다.

코마테크놀로지는 이번 전시회 기간 중 국내외 반도체산업 대표와 담당자들이 사파이어인젝터, 사이드노즐, 포러스척에 많은 관심을 보였으며, 약 50여건의 상담이 이뤄졌다고 설명했다. 특히 기존 세라믹이나 쿼츠 인젝터(노즐)보다 수명과 수율이 좋은 사파이어인젝터(노즐)는 공정상 핵심 이슈인 파티클을 최소화해 수율을 향상시키고, 기존 부품 대비 부품 수명이 3~5배 증가해 원가절감에 기여 한다. 또한, 코마테크놀로지가 보유하고 있는 사파이어 미세가공기술과 접합기술을 바탕으로 한 사파이어 부품에 국내외 업체들이 관심을 보였다.

박성훈 대표는 “코마테크놀로지는 앞선 기술력으로 고객이 원하는 것을 미리 파악해 경쟁사와는 차별화된 방식으로 고객에게 큰 만족을 안겨 줄 것이다. 지속 성장 가능 기업이 되기 위한 끊임없는 연구개발로 시장을 만들고 시장을 리딩하는 기업이 될 것”이라고 밝혔다.

코마테크놀로지는 오는 3월 14일부터 중국 상하이에서 개최되는 세미콘 차이나(SEMICON China) 2018 전시회 참가를 준비하면서 중국, 대만, 미국 등 해외시장도 공격적으로 공략하고 있다.

정환용 기자  hyjeong@epnc.co.kr

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