[테크월드=이나리 기자] 텍트로닉스가 일리노이 대학교(University of Illinois) 전기, 컴퓨터 공학 전공의 나노제조기술 실험실(Nanofabrication Lab)에서 학생들에게 최상위 수준의 마이크로와 나노 전자공학 실험∙실습 경험을 제공할 수 있도록 키슬리 4200A-SCS 파라미터 애널라이저 3대, 4200A-CVIV 멀티 스위치 모듈 3대를 도입했다고 발표했다.
4200A-SCS는 소재, 반도체 디바이스와 프로세스의 전기적 특성을 분석하기 위해 완벽하게 통합된 모듈형 파라미터 애널라이저다. 4200A-CVIV는 DC, AC 측정 간 전환 및 다른 테스트 디바이스의 터미널로 AC 측정 이동을 오류 없이 수행할 수 있다.
일리노이 대학교는 23만 평방 피트 규모의 ECE 빌딩에 나노제조기술 연구실을 구축하는 중이다. 이 새로운 시설에는 학생들에게 전자 공학, 컴퓨팅 분야의 충분한 실험∙실습 경험을 제공할 수 있도록 20개 이상의 전용 실험실을 준비하고 있다. 일리노이 대학교가 텍트로닉스 4200A-SCS를 선택한 이유는 장비를 처음사용하는 연구원이나 학생들이라도 장비를 쉽게 사용할 수 있고, 최소한의 교육으로도 실무에 즉시 활용할 수 있는 큰 장점이 있기 때문이다.
이처럼 4200A-SCS는 ‘사용성(Usability)’에 중점을 두고 있다. ▲텍트로닉스 홈페이지에서 애플리케이션 노트와 웨비나를 제공한다. 유튜브(YouTube)에서 테스트 설정부터 측정 실행과 문제 해결 관련 지침을 비디오로 제공(한국어∙영어∙일본어∙중국어 지원 가능) ▲바로 사용 가능(Ready-to-use)하고, 사용자가 수정 가능한(User-modifiable) 450개 이상의 애플리케이션 테스트와 디바이스를 제공해 테스트 계획 개발에 용이 ▲시각적 테스트 계획 개발과 테스트 시퀀싱 도구 ▲통합된 신뢰성 검증 기능으로 프로브가 웨이퍼 패드에 접촉했을 때 사용자에게 확인 등의 기능이다.
데인 시버스(Dane Sievers) 교수는 "키슬리 4200A-SCS는 첨단 파라미터 기능과 사용성의 이상적인 조합을 제공하는 것이 입증된 장비다" 면서, "실제로 사용해보니, 장비의 작동이 굉장히 직관적이기 때문에 교육 없이도 어렵지 사용할 수 있었다" 고 평했다.
I-V 특성화를 위한 SMU(소스 미터 유닛), AC 임피던스 측정을 위한 커패시턴스-전압 모듈, 그리고 펄스 I-V, 파형 캡처 및 트랜지언트 I-V 측정을 수행하는 초고속 펄스 측정기로 구성된 4200A-SCS는 연구원과 엔지니어 모두에게 소재 연구, 반도체 디바이스 설계, 개발 또는 생산에 필요한 중요 파라미터를 제공한다.
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