인테그리스, 한국 시장 중요…‘가스 정제 시스템’ 국내서 생산

첨단 소재 처리 솔루션 기업 인테그리스는 한국의 메모리 반도체 시장의 높은 수요에 대응해 나가기 위해 최첨단 가스 정제용 시스템(Gas Purification Systems, GPS)을 올해부터 한국 장안 공장에서 생산한다고 2월7일 기자간담회를 통해 밝혔다.

첨단 노드용 반도체 공정 및 LED 제조 요구사항은 공정 가스에서 발견되는 결함 유발 오염 물질을 제거할 수 있도록 더욱 높은 순도를 요구한다. 이를 위해 필요한 첨단 가스 정제용 시스템은 반도체 및 LED 응용 분야의 웨이퍼 수율을 개선해 준다.

인테그리스의 게이트키퍼(GateKeeper) 가스 정제 시스템 제품군은 가스 기류 내의 여러 오염 물질을 1조분의 1분율 단위 수준으로 제거한다. 또 스페셜 가스를 제외한 질소, 수소, EUV용 수소, 아르곤, 암모니아 및 청정 건조공기(CDA)를 포함한 여러 공정 가스를 적은 공간에서 정제할 수 있다. 더불어 필요한 장비 공간을 줄인 점이 특징이다.

인테그리스가 가스 정제용 시스템 제조 시설 확대에 한국을 선택한 이유는 한국의 메모리 반도체 시장의 전세계 점유율이 높고, 시장이 더욱 커지고 있기 때문이다. 실제로 인테그리스의 매출의 75%가 아시아 시장에서 나오고 있으며, 국가별로는 대만에 이어 한국이 2위를 차지하고 있다.

홍완철 인테그리스 코리아 사장은 “그동안 인테그리스는 가스 정제용 시스템을 싱가포르에서 생산해왔고 R&D는 미국에 있었으나 올해부터는 한국법인의 장안 공장에서 제조를 시작하면서 향후 한국, 동남아, 미국, 유럽까지 커버할 예정이다”라며 “국내에서 가스 정제용 시스템을 제조함으로써 삼성전자와 SK하이닉스 등의 반도체 기업의 자체 규정을 따른 맞춤 제품을 공급할 수 있게 된다”고 덧붙였다.

인테그리스는 게이트키퍼 시스템을 장안 공장에서 제조를 시작함으로써 서비스 수요에 대응하기 위해 올해 60명의 인원을 더 충원할 계획이라고 밝혔다.

홍완철 사장은 “한국은 지역적 특성 때문에 그동안 모든 원료 및 시스템 등을 배로 배송했기 때문에 약 45일의 시간이 소요됐고 재고 관리에도 비용이 많이 들었다”며 “이번 가스 정제용 시스템 국산화를 계기로 앞으로 더 많은 시스템을 한국화 시켜서 한국 고객사들이 더 빠르게 제품을 공급받을 수 있도록 하는 것이 목표다”라고 전했다.