어플라이드머티어리얼즈, 디스플레이 전자빔 검사 기술 출시

반도체칩과 첨단 디스플레이 제품 생산에 사용되는 재료공학 솔루션 기업인 어플라이드머티어리얼즈가 디스플레이 업계 최초로 인라인(inline) 고해상도 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR) 시스템을 출시한다고 9월26일 밝혔다.

이 시스템을 통해 유기발광다이오드(OLED) 및 초고화질 액정표시장치(UHD LCD) 제작사는 수율 극대화를 달성하고 시장에 신규 디스플레이 컨셉을 내보낼 수 있게됐다.

차세대 디스플레이는 갈수록 더 많은 공정 단계를 거치게 되는데 이 과정에서 아주 미세한 오염물질이 자주 발생돼 새로운 형태의 결함을 발생시킨다. 현재 사용되고 있는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함 및 사소한 결함의 구분 그리고 체계적인 결함 원인 발견에 있어 주사전자현미경(SEM)에 비해 효과적이지 않다.

그러나 기존의 SEM 분석의 경우 유리 기판을 조각조각 쪼갠 후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 해 비용과 시간이 많이 들뿐 아니라 전체 패널에서 결함의 위치가 어디인지 판별하기가 거의 불가능하다는 단점이 있었다.

어플라이드머티어리얼즈에 따르면 2015년 기준 세계 EBR 시장 점유율 70%을 차지하고 있으며 그동안 반도체 소자 검사용 SEM 및 대면적 디스플레이 진공 플랫폼 분야에서 쌓아온 역량을 기반으로 기존 단점을 해결한 신규 인라인 EBR 기술을 탄생시켰다.

이번 신규EBR 시스템은 이러한 단점 없이 가장 빠르고 효과적으로 모바일 기기 및 TV 용 첨단 디스플레이의 주요 결함을 발견하고 문제를 해결할 수 있도록 돕는다.

알리 살레푸어(Ali Salehpour) 어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 분야 및 글로벌 서비스 담당 부사장 겸 책임자는 “어플라이드머티어리얼즈의 신규 EBR 시스템은 OLED 및 LCD 제조 상 발생하는 주요 문제를 해결할 수 있도록 돕는다”고 말했다.

이어서 그는 “최근 증강현실, 가상현실, 스마트카 등 다양한 어플리케이션들의 등장으로 새로운 폼팩터를 갖춘 차세대 디스플레이에 대한 수요가 높아지고 있는 가운데 고객사들은 EBR과 같이 시장 출시 기간 상에서 중요한 이득을 볼 수 있는 솔루션을 필요로 하고 있다”고 강조했다.

준 마(Jun Ma) 티안마전자 부회장 겸 박사는 “티안마전자는 어플라이드머티어리얼즈와의 강한 파트너쉽을 통해 사용자들이 기대하는 고품질 및 고성능 모바일 디스플레이 생산에 필요한 신규 기술들을 개발할 수 있었다”고 말하며 “어플라이드머티어리얼즈의 이번 EBR 시스템은 중국 우한에 위치한 자사 팹 가동 시간 단축을 도왔고 자사가 빠르게 차세대 디스플레이 기술을 개발할 수 있도록 일조했다”고 밝혔다.

한편 이미 6곳의 세계 최대 디스플레이 생산사가 어플라이드머티어리얼즈의 EBR 시스템을 주문한 상태라고 회사 측은 밝혔다.