어플라이드, 분해능 갖춘 '전자빔 반도체 검사 장비' 출시

반도체·평판 디스플레이·태양광 산업 분야의 재료공학 솔루션 기업인 어플라이드머티어리얼즈가 차세대 전자빔(e-beam) 검사 장비 ‘어플라이드 프로비전(Applied PROVision)’ 시스템을 출시한다고 7월12일 밝혔다.

최근 차세대 노드(node)로의 변화를 꾀하고 있는 주요 파운드리, 로직, D램 및 3D 낸드 제조사가 필요로 하는 초고도 분해능(resolution) 및 이미지 품질을 가장 빠른 처리량으로 제공하는 것이 장점이다.

‘어플라이드 프로비전’ 시스템은 어플라이드머티어리얼즈가 20년 이상 쌓아온 전자빔 측정계측 및 검사 기술력의 결정체다. 업계 최초로 1나노 미만 분해능을 갖춰 타 기술로는 검출이 불가한 초미세 불량을 감지할 수 있다.

기존 장비 대비 3배 이상 빠른 처리량으로 정밀 공정 특화 검사와 반도체 성능 예측 및 감지가 가능하며 팹제품생명주기 전반에 걸쳐 수율에 영향을 미치는 불량도 찾아낼 수 있다. 차세대 반도체 생산 시 발생하는 문제들을 빠르게 해결하고 높은 수율을 달성해 공정 마진을 달성할 수 있다.

어플라이드머티어리얼즈 이미징 및 공정 관리 사업부 총괄 매니저 겸 부사장 밥 펄머터는 “어플라이드 프로비전은 최근 전자빔 검사 장비 포트폴리오에 추가된 시스템으로 성장 전략의 역할을 하고 있다”며 “특히 이 시스템은 이용자들의 새로운 계측 방식과 함께 쓰일 때 연구개발 사용 수준을 넘어서 생산 환경에서도 최적의 성과를 발휘할 수 있도록 돕는다”고 말했다.

한편 ‘어플라이드 프로비전’ 시스템은 기존 자사 전자빔 측정계측 및 검사 제품과 광학 패턴 웨이퍼 계측 생산 라인 보완도 가능하다. 이미 주요 파운드리 및 메모리 반도체 제조사들로부터 재주문을 포함해 12개 이상을 출하하며 성공을 거두고 있다.