- 65nm 이하 공정에서의 패턴 웨이퍼 검사를 새롭게 정의한 PUMA 9000- 메모리 및 비메모리 소자 생산 업체로부터 대규모 주문 수주KLA-Tencor (NASDAQ: KLAC)가 오늘 다양한 오류 관리에 적용되어 새로운 기준을 마련 할 것으로 기대되는 최초의 차세대 제품인 신형 Puma 9000 패턴 웨이퍼 검사 시스템을 공개했다. 65-nm 및45-nm 노드에서 부각되고 있는 새로운 오류 검사 및 수율 문제를 해결하기 위해서 고객과의 밀접한 협력을 통해 개발된 Puma 9000은 KLA-Tencor의 혁신적인 다크 필드 이미지 처리용 Streak™ 기술을 채택한 모듈러형 확장 가능 구조를 결합함으로써 생산 과정에서 오류 검출 능력이 뛰어난 것이 특징이다. 전세계에 30여대가 설치 및 가동되고 있는 Puma 9000 시스템은 전세계 로직칩 및 메모리칩 제조 업체들에게 획기적인 비용 및 성능 상의 이점을 제공하고 있으며, KLA-Tencor 역사상 가장 빠른 신제품 채택률을 보이고 있다.하이닉스 반도체는 첨단 메모리 개발을 위해 시스템의 전체 기능을 테스트하기 위해 KLA-Tencor와 오래전부터 파트너십을 체결해 왔다. 하이닉스의 박성욱 부사장은 “Puma를 통해서 저희 연구개발 그룹은 높은 생산성을 달성하는 동시에 극소 결함까지 발견할 수 있게 되었다”며 “Puma는 이미 70-nm DRAM 및 플래시 소자에서 개발과 생산 부문 모두에서 중요한 역할을 담당하고 있다. 따라서 이장비는 연구 개발 라인 뿐만 아니라 첨단 300nm 생산 라인에도 투입된 상태”라고 밝혔다.KLA-Tencor의 웨이퍼 검사 그룹 담당 랜스 글래서(Lance Glasser) 부회장은 Puma 9000의 필요성에 대해 언급하면서 현재 칩 제조업체들이 신규 시장, 기술 및 비용의 역학 관계 등을 포함해 소비자측으로부터 유래 없는 문제점들에 직면하고 있다고 설명했다. 그는 “시장 출시 시간을 단축하는 것이 무엇보다도 고객의 수익성이라는 측면에서 더욱 더 중요해졌다. 또한 이러한 비용 압박도 예전에는 경험하지 못한 것이다. 이러한 문제로 인해서 제조업체는 핵심 기술 이전 가속화, 생산 프로세스 개선은 물론, 궁극적으로 차세대 칩 수율 향상, 시장 출시 시간 단축, 투자대비수익(ROI)을 증가시키기 위해 보다 강력하고 높은 가치를 제공하는 검사 시스템이 필요한 것”이라고 강조했다.- 65nm 이하 공정 시대의 새로운 검사 요구산업계 최고의 성능을 제공하는 Puma 9000은 기존의 스캐닝 레이저 및 광증폭 튜브(PMT) 기반의 검사 시스템의 한계를 극복하기 위해서 KLA-Tencor의 혁신적인 Streak™ 다크 필드 이미지 처리 기술이 적용되었다. 다양한 기술로 확장이 가능한 Streak는 생산성을 저하시키지 않고서 중요한 오류 검사 작업을 수행할 수 있도록 최적화된 다양한 검사 모드를 제공하기 위한 목적으로 고속 이미지 처리 기술이 적용된 첨단 자외선(UV) 조명 광학 기술을 채택했다. 산란광을 영상 처리하기 위해서 전용 고체 소자 선형 센서가 사용되며, 이 센서는 신호대잡음비(SNR)를 극대화 시키고 PMT 보다 안정적이고 반복성이 뛰어난 측정을 할 수 있도록 다이내믹 레인지가 보강되었다.- 중요 라인 모니터링 및 CoO 요구 충족Puma 9000에는 Streak 기술의 고유한 장점뿐만 아니라 중요 레이어에서의 문제를 포착하기 위해 매우 효과적인 잡음 제거 및 패턴 필터링 등의 기능이 제공된다. 또한 기판 상 라인 오류 자동 분류 (iADC) 기술을 통해 실시간 분류 및 지능형 샘플링을 가능하게 함으로써 사용자들이 관심을 두는 문제점에 집중할 수 있도록 하고 있다. 이 플랫폼은 수율 저하 없이도 기존의 검사 시스템에 비해 높은 성능을 제공하기 때문에 고객들은 비용 측면에서 최적화된 검사 전략을 적용할 수 있는 동시에 생산 제어를 보다 철저하게 수행할 수 있게 된다.칩 제조 업체의 엄격한 소유 비용(CoO) 요구를 만족시키기 위해서 Puma 9000 아키텍처는 다양한 기술들로 확장이 가능한 모듈러 설계를 채택하고 있다. 적용 분야 별로 구성이 가능한 Puma 9000은 칩 제조업체들이 메모리 및 로직칩 생산에서의 다양한 검사 애플리케이션을 하나의 플랫폼에서 처리할 수 있도록 하며 동시에 향후 확장을 위해 비용 측면에서 효율적인 업그레이드가 가능하다. 또한 이 시스템은 KLA-Tencor의 최신 브라이트필드 및 전자 빔(e-Beam) 검사 시스템과 동일한 사용자 인터페이스를 사용하기 때문에 작업자 교육에 걸리는 시간이 감소되며 생산 라인에 신속하고 쉽게 투입이 가능하다.- 오류 관리에서의 새로운 혁명글래서 부사장은 “저희 고객들에게 있어서 산업계 내의 리더십을 유지하면서 비용을 절감할 수 있는 방식으로 급속한 기술적 변화를 주도하는 것이 항상 커다란 과제로 남아 있다”며 “Puma는 우리 회사의 공정 제어 솔루션의 확장 포트폴리오의 한 부분으로, 성능상의 희생 없이 고성능과 저렴한 비용 모두를 확보할 수 있는 검사에 대한 필요성을 충족시킴으로써 최첨단 칩 제조업체들이 원가 절감을 최대화하고, 위험성 부담을 최소화할 수 있도록 한다”고 말했다.- KLA-Tencor에서는 Puma 9000이 향후 출시될 새로운 검사 시스템에서의 최초의 도구라고 밝혔다. 높은 오류 검출 기능과 신속한 처리 속도를 결합함으로써 높은 확장성과 생산성을 제공하는 이 도구들은 이 산업계 내에서 새로운 기준을 마련할 것으로 기대되고 있다.
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