세계적인 측정 장비 솔루션 개발업체인 키슬리 인스트루먼츠는 반도체 파라메트릭 생산 공정 제어를 위한 3세대 웨이퍼 상태에서의 RF 측정 기술을 개발했다고 밝혔다. 키슬리의 3세대 RF 옵션(RF Option) 솔루션은 연속, 자동 및 실시간으로 측정 품질 모니터링이 가능하다. 최고의 처리속도와 최저의 운영 비용 그리고 최고의 사용 편의성 등 어떠한 경쟁 제품보다도 월등한 품질 결과를 제공한다.뿐만 아니라 키슬리의 RF 옵션 측정 기술은 고성능 로직 및 고성능 아날로그 IC 관련 어플리케이션을 위한 전세계 200mm 및 300mm 제조 팹으로부터 파라메트릭 프로세스 제어용으로써의 품질을 인정받은 업계 유일의 테스트 시스템이다.고도의 측정 무결성 (고도의 측정 품질)테스트는 자동적으로 유효하지 않은 RF 교정 이벤트를 감지하여 자동적으로 재교정을 실시하는 것과 같은 수정 절차를 수행하도록 함으로써 측정 품질을 연속적으로 자동 모니터링 한다. 프로브 카드 교체 등과 같은 시스템 구성 변경 작업시 자동적으로 재교정을 실시하게끔 설정할 수도 있다. 또한 주기적인 RF 교정과 같은 시간을 기반으로 한 트리거 이벤트도 포함된다.트리거 이벤트의 최종 클래스는 측정을 기반으로 한다. 예를 들어, 프로버가 다음 사이트에 인덱스 하는 동안 백그라운드에서는 테스터가 자동으로 프로버 탐침과 웨이퍼간의 접촉 품질을 검증하고 필요에 따라 자동 프로버 탐침 클리닝 작업을 수행한다.시스템의 우수한 측정 무결성으로 인해 비정상적인 RF측정 결과의 분석을 위해 로우 데이터 곡선을 RF 전문가가 일일이 수작업으로 검사할 필요가 없다. 또한 재작업 비용이 전혀 들지 않기 때문에 매우 효율적으로 300mm 팹과 연동될 수 있다.높은 처리 속도키슬리의 RF 옵션은 S680 시뮬테스트(SimulTest) 옵션과 이상적으로 설계된 테스트 구조 및 프로브 카드로 구성되어 있으며, 업계에서 유일하게 한번의 프로브 접촉을 통해 병렬로 DC 및 RF 측정을 동시에 수행할수 있는 테스트 시스템이다.이는 먼저 RF 측정을 한 다음 뒤 이어 DC 측정을 수행하는 기타 유사 기법들에 비해 실질적으로 훨씬 더 높은 처리속도를 제공할 수 있다. 뿐만 아니라, 추가적인 프로세싱 없이 제공되어지는 업계 최대 RF 파라미터 추출 라이브러리를 사용하여 측정된 s-파라미터로부터 측정 시작과 동시에 실시간으로 RF 파라미터들을 계산하고 추출할 수 있어 시간을 절감할 수 있고 처리속도를 향상 시킬 수 있다.이러한 기능들이 모델 S680 파라메트릭 테스트 시스템과 접목되면서 업계에서 유일하게 40GHz의 측정을 지원할 수 있는 키슬리만의 다이렉트독(direct-dock) 기능이 제공된다. 경쟁 제품의 경우에는 RF 전문가가 토크 렌치(torque wrench)를 이용해 수작업으로 프로브 카드를 교체한 후 수동으로 교정을 실시 해야만 한다.키슬리의 RF 옵션 솔루션의 자동 RF 프로브 카드 교체 기능은 수동에 비해 월등히 빠른 시간 이내에 작업을 완료함으로써 전체 처리속도를 향상시킨다. 또한 자동 프로브 카드 교체는 작업자에 의해 발생할 수 있는 문제점들을 제거, RF 측정 결과에 대한 측정 무결성을 향상시킨다. 그리고 RF 기술전문가를 필요로 하지 않기 때문에 운영 비용을 절감할 수 있다. 이 자동화 프로브 카드 교체 기능은 키슬리 RF 옵션에서 제공되는 새로운 기능이다. 키슬리의 VNA 기반 솔루션은 일반적인 ENA 또는 PNA 기반의 솔루션에 비해 월등히 탁월한 처리속도와 반복성을 제공하여 준다.최저 운영 비용소프터치(SofTouch) 옵션은 프로브 탐침과 웨이퍼 간 접촉 품질 측정 기준을 충족시킬 뿐 아니라 프로브 오버드라이브를 최소화함으로써 프로브 카드 수명을 최대화 한다. 만약 한 팹에서 RF 프로브 카드 터치다운 수명이 100배 향상된다면 프로브 카드 비용을 향상된 수명만큼 절감할 수 있다.키슬리의 프로브 카드 매니저(Probe Card Manager) 옵션은 RF 프로브 카드의 프로브 터치다운에 대한 자동 연속 모니터링 기능을 결합하여 프로브 카드 수명을 유지 시켜주며 나아가 프로브 카드 비용을 대폭 절감한다. 키슬리의 40GHz RF 옵션 솔루션은 팹에서 사용되고 있는 기존의 양산용 자동화 DC 프로버 시스템들과 호환이 가능하다.이로써 전용 RF 프로버를 구입해야 하는 다른 제품들과 비교해 볼 때 초기 구입 비용이 2/3에 불과할 뿐만 아니라 유지 및 운영 비용을 절감할 수 있다는 장점을 제공한다. 또한 동일 장비를 사용하고 한번의 웨이퍼 삽입을 통해 DC 및 RF 테스트 구현이 가능해 DC/RF 전용 테스터간에 웨이퍼를 이동시킬 필요가 없으므로 운영 비용도 크게 줄일 수 있다. 이 밖에 단일 RF 프로브 카드 공급 업체를 제공하는 다른 제품과는 달리 키슬리의 새로운 시스템은 사용자가 3개의 공급 업체를 선택할 수 있도록 한다.결과적으로 프로브 카드 비용을 줄임과 동시에 양산 환경에서 좀 더 예측가능하고 안정적인 공급망을 제공하여 제품의 신뢰성을 한 층 더 높이게 되었다.다양한 범위의 어플리케이션키슬리의 RF 옵션 측정 기능에는 사용자들이 대량의 고품질 RF 데이터를 빠른 시간 안에 수집하여 다양한 어플리케이션에 적용할 수 있게 하여 주는 개선된 소프트웨어 세트가 포함되어 있다. 이는 전세계 팹에서 효과가 입증되었고, 사용자에 의해서 안정성이 검증된 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 기반으로 구현된 것이다. 키슬리의 RF-CV 측정기법은 강유전율(high-k) 트랜지스터의 생산을 위한 파라메트릭 공정 제어 분야에서 기존의 CV 또는 MFCV 측정 기술을 대체할 수 있으며, 이 기술은 양산 팹에서 65nm 이하의 고성능 로직 IC의 전기적인 게이트 박막두께를 보다 엄격하게 제어할 수 있게 하여 준다.고성능 아날로그 및 RF IC의 경우, RF 회로 모델 검증을 위해 다른 RF 측정 방법들은 2개월 이상이 걸리는 반면, 키슬리의 RF 옵션은 2주 이하로 줄여 준다. 키슬리의 RF 옵션 솔루션은 고객들이 신제품 출시를 앞당길 수 있도록 함으로써 많은 경쟁력을 부여한다. RF IC 제조업체들은 ft 또는 fmax와 같은 BiCMOS 표준 성능 지수의 파라메트릭 양산 공정 제어에도 키슬리의 RF 옵션 솔루션을 이용할 수 있다. SOC 제조업체들 또한 LNA 및 휴대폰 필터들의 벤치마크 회로 펑션 테스트나 성능지수의 테스팅에 키슬리의 RF 측정 기술을 이용할 수 있다.RF 지원 강화키슬리는 수년간 전세계 팹에서 RF 부분에서의 실적용 경험을 통해 우수한 RF 측정 기술을 축적할 수 있었다. 키슬리 어플리케이션 엔지니어들은 고성능 로직 디바이스의 트랜지스터 게이트 커패시터의 RF-CV 측정을 비롯해 고성능 아날로그 어플리케이션용 인덕터 및 필터 등의 양산 환경을 위한 RF 테스트 구조 설계와 관련한 풍부한 경험을 보유하고 있다. 뿐만 아니라 키슬리의 반도체 물리학자들은 고객들이 측정 결과를 잘 이해하고 좀더 나은 공정 제어를 할 수 있도록 적극 지원하고 있다.제품 구입키슬리의 3세대 RF 옵션 측정 기술은 현재 공장으로부터 출하되고 있는 S680 및 S470 모델을 통해 즉시 이용이 가능하다. 키슬리는 또한 기존 제품의 재사용도를 높이기 위한 노력의 일환으로 지난 15년간 사용되어 온 S600 및 S400 시리즈 모델에 대해 필드 개조(field-retrofit) 옵션 형태도 제공한다.
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