반도체 부품 ‘SiC 포커스링’ 대표 기업
공정 가혹화로 수혜 받는 티씨케이, 하나머티리얼즈, 케이엔제이

SiC 포커스링 /사진=티씨케이
SiC 포커스링 /사진=티씨케이

티씨케이와, 하나머티리얼즈, 케이엔제이는 포커스링을 제조하는 업체들이다. 포커스링은 반도체 식각 공정에서 웨이퍼를 고정시키고 균일한 플라즈마 밀도를 유지시켜주는 역할을 함으로써, 반도체 수율을 결정하는 중요한 부품이다. 포커스링은 실리콘(Si), 쿼츠, 실리콘카바이드(SiC)로 만들어지는데 반도체 공정의 가혹화로 보다 내구성이 높은 SiC 포커스링의 점유율이 점차 높아지고 있다.

식각공정에서 고출력 플라즈마 요구가 증가하고 있으며 반도체 전공정에서 가장 공정 강도가 크게 증가하고 있는 공정이다. 이로 인해 식각공정용 부품은 반도체 부품 중 가장 빠르게 교체주기가 앞당겨지고 있다. 

이러한 수요에 발맞춰 SiC 포커스링을 제조하는 3사는 모두 공장 증설을 진행하고 있다. 티씨케이는 4월 25일 342억 원의 시설 투자 결정을 밝혔고, 하나머티리얼즈는 1000억 원 규모의 공장신설 투자를 진행했다. 그리고 가장 생산능력(CAPA)이 작은 케이엔제이도 4월 28일 80억 원 규모의 생산설비 증설 발표를 했다.

티씨케이는 비포마켓 업체로 SiC 포커스링을 TEL, 어플라이드머터리얼즈, 램리서치 등 글로벌 식각 장비사를 거쳐 엔드유저에게 간접 공급하고 있다. 하나머티리얼즈와 케이엔제이는 애프터마켓 업체로 SiC 포커스링을 엔드유저에게 직접 납품하고 있다. 

SiC 포커스링 매출액 추이 및 전망. /자료=키움증권 리서치센터

티씨케이는 반도체, 태양전지 및 LED용 부품 전문 제조기업이다. 대부분의 매출은 반도체 장비업체에 공급하는 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼와 SiC 포커스링에서 발생하고 있다. 티씨케이의 매출은 SiC 반도체 공정 부품에서 84%, 반도체용 고순도 흑연제품에서 9% 발생한다. 

2022년 1분기 별도기준 실적은 매출액 778억 1100만 원, 영업이익 290억 5900만 원을 기록하며 시장 컨센서스를 상회했다. 이는 고객사 가동률 상승에 따른 SiC 포커스링 수요 증가와 우호적인 환율 효과에 기인한 것으로 보인다. 박성순 케이프 투자증권 연구원은 “경쟁사 시장 진입과 고객사의 제한된 CAPA 확대에 따른 SiC 포커스링 경쟁에 대한 우려를 불식시키는 실적”이라고 평했다.

티씨케이 관계자는 “삼성전자 P3 장비 입고가 한달 정도 지연될 것으로 예상되지만, 장비사에서의 SiC 포커스링 주문은 빨라지고 있다”며 “장비 입고 지연이 티씨케이에 미치는 영향은 제한적”이라고 밝혔다. 

티씨케이는 증가하는 SiC 포커스링 수요 대응을 위해 4월 25일 342억 원 규모의 시설 증설 투자를 결정했다. 자기자본대비 10.1%의 투자다. 투자 기간은 4월 25일부터 2024년 7월 31일까지다. 티씨케이는 이 설비투자 기간동안 신규공장 신설투자도 검토할 예정이다. 

박 연구원은 “SiC 포커스링 수요 증가에 대응하기 위해 지속적으로 CAPA를 확대하고 있다”며 “현재 경쟁사들의 SiC 포커스링 시장 진입이 이루어지고 있으나 애프터 마켓 또는 기존 SiC 포커스링을 채택하지 않았던 장비사에 신규로 공급을 하고 있다. 앞으로의 실적이 기대된다”고 말했다. 

박 연구원은 티씨케이의 2022년 매출액과 영업이익을 각각 3400억 원, 1270억 원으로 전망했다.

5월 18일 장 마감 기준 티씨케이 주가는 139000 원이며 케이프증권과 키움증권은 목표가 17만 원을 제시했다.
 

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