[테크월드뉴스=서유덕 기자] 반도체 전 공정 오버레이(Overlay) 계측장비 전문기업 오로스테크놀로지는 기존의 12인치 오버레이 계측장비에 이어 8인치 계측장비를 공급한다고 13일 밝혔다.
오로스테크놀로지는 6월 말 한국나노기술원의 시스템 반도체 및 차세대 지능형 반도체 R&D 지원사업에 발맞춰, 국산 설비로는 최초로 8인치 오버레이 시스템 OL-100n을 공급한 데 이어, 동일한 8인치 계측장비를 나노종합기술원 입찰에도 성공해 10월 중 공급을 앞두고 있다.
한국나노기술원은 시스템 반도체 및 기업을 대상으로 ‘나노소재기술개발사업’을 통해 국내 반도체 소재, 부품, 장비 지원을 위한 후공정 장비 구축사업을 진행하고 있다.
오로스테크놀로지의 OL-100n은 6인치, 8인치 오버레이 측정 장비로, 레거시 프로세스 수요 증가에 대비해 12인치 측정 기술을 기반으로 자체적으로 개발한 장비이다. 6인치와 8인치 웨이퍼 핸들링이 모두 가능하며, 해외 경쟁사 기능 대비 업그레이드된 오버레이 성능을 제공한다. 빠른 측정 속도와 사용 편리성을 갖췄으며 동일 장비로 오버레이와 CD 계측까지 가능해 다양한 테스트 결과까지 기대할 수 있다.
해당 OL-100n 장비는 기존의 오버레이 시장을 포함해 급성장하고 있는 화합물 반도체에서도 그 필요성이 증가하고 있다. 오로스테크놀로지는 현재 다양한 글로벌 고객사로부터 웨이퍼 평가와 투자에 대한 협의를 진행 중이다.
이미 동 모델의 장비는 대만과 한국의 제조업체에서 양산에 적용 중이며, 일본의 자동차 센서향 반도체 FAB의 평가에서도 우수한 결과를 보여 글로벌 고객사 확대와 장비 다변화가 기대된다.
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