[테크월드=선연수 기자] 램리서치코리아가 오늘 27일부터 4일간 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 '제22회 반도체 대전(SEDEX 2020)'에 참가한다.
이번 전시회에서는 램리서치가 반도체 산업 속에서 40년간 어떤 혁신을 이뤄왔는지, 한국 반도체 산업 생태계 발전을 위해 어떤 노력을 해왔는지 만나볼 수 있다.
램리서치는 올해 EUV 노광 공정에서 회로 선폭 미세화의 열쇠를 쥔 해상력(Resolution)을 높여 수율과 생산성을 크게 높이는 건식 레지스트 신기술을 ASML, imec과 공동으로 개발해냈다.
이외에도 산출량과 혁신적인 센서 기술 구현으로 탁월한 생산성을 제공하는 식각 공정 반도체 장비인 센스아이(Sense.i) 플랫폼, 반도체 제조 시 3D NAND·D램·로직 칩 제조사의 문제를 해결하는 동종 최초의 혁신적인 아이스필(ICEFill) 기술이 탑재된 첨단 원자층 증착 플랫폼, 스트라이커 FE(Striker FE)를 연이어서 발표한 바 있다.
램리서치의 글로벌 생산기지로 경기도 오산에 위치한 램리서치매뉴팩춰링코리아는 2019년 5월에 국내 생산 5000호기를 출하한 데 이어 올해 6월에는 6000호기 생산을 달성하면서, 국내 생산 장비 출하량을 지속해서 늘리고 있다. 램리서치는 이번 전시회에서 국내에서 생산되는 반도체 모듈 중 하나인 코로너스(Coronus) 플라즈마 베벨 클린 모듈을 전시해 소개할 예정이다.
한편, 29일에는 한국반도체산업협회 주최 하에 열리는 제15회 반도체 장학증서 수여식에 램리서치코리아가 참석해, 반도체 전공 학생 두 명에게 램리서치 장학 증서를 수여한다. 램리서치코리아는 꾸준한 장학 사업 참여를 인정받아 반도체산업협회로부터의 장학사업 특별 감사패 수상도 예정돼 있다.
그래도 삭제하시겠습니까?